三強搶EUV機台 台積已挺進埃米世代 三星恐看不到尾燈

全球晶圓代工三強爭霸戰中，三星副會長李在鎔最近為了下世代極紫外光（EUV）再度飛往荷蘭艾司摩爾（ASML）總部，並很高興搶到「額外」的機台數，這是為三星多爭取到目前全球訂單得排隊長達2年的最新一代高數值孔徑（High NA）EUV機台。無獨有偶，台積電主掌研發大軍的資深副總米玉傑，也宣布台積電會在2024年拿到最先進設備。

據了解，台積電買進下世代Hing-NA EUV微影設備，將是為台積電跨進埃米世代預先部署，不會用於2025年量產的2奈米，研判是用於預定今年8月成軍的1.4奈米研發團隊使用，換句算說，是買來研發用。