半導體

半導體風雲／放話嫌新設備太貴 台積與艾司摩爾諜對諜

台積電對外表示在A14製程不急於導入High NA EUV。圖／聯合報系資料照片
台積電對外表示在A14製程不急於導入High NA EUV。圖／聯合報系資料照片
聯合報 ／ 記者簡永祥

去年曾斷言台積電在進入埃米製程A16不會導入艾司摩爾（ASML）微影設備的台積電業務開發及全球業務資深副總經理暨副共同營運長張曉強，稍早在出席台積電歐洲技術論壇，再度釋放艾司摩爾最新一代高數值孔徑（High NA）極紫外光（EUV）價格太貴，「台積電截至目前止，還找不到用它的理由」。此話似乎意謂台積電並不急於在A14（即1.4奈米）導入。

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簡永祥 記者

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